三氯氫硅作為制造多晶硅的主要原料，其中二氯二氫硅的含量對優化工藝十分重要，目前一般都是取樣到實驗室進行分析。實際由于三氯氫硅的化學和物理特性（二氯二氫硅為劇毒、無色、易燃、液化性氣體），使本樣品取樣分析非常危險和困難，而且取樣到實驗室分析對在線生產的指導時間滯后性太大。惠斯通經過現場實地考察，與多晶硅廠家應用專家進行深入交流了解，經過兩年多時間設計開發出可應用于半導體行業的三氯氫硅在線分析儀二氯二氫硅色譜分析儀WH609X。

WH609X三氯氫硅在線色譜儀，可以做到實時監測分析現場二氯二氫硅組份的變化。通過三年不斷的優化升級，已經達到隔爆，無需大量儀表風吹掃。并可根據實際情況為客戶定制分析方案，設備。