三氯氫硅作為生產多晶硅的主要原料，在常溫常壓下具有刺激性氯化氫氣味，易流動易揮發的無色透明液體。三氯氫硅沸點31.5℃，易揮發、易潮解，遇空氣中微量水分反應立即水解，產生氯化氫氣體并生成白色顆粒物，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火、高熱時發生燃燒或爆炸，具有急性毒性。這不僅給取樣帶來很大的困難和危險而且會影響分析結果的準確性，很難做到精確指導生產，基于這樣的前提下惠斯通研制開發在線分析氯硅烷組分含量的在 線色譜分析儀。

惠斯通WH609X在線色譜儀能夠在線分析高純三氯氫硅中的二氯二氫硅的含量。使用TCD檢測器，檢出精度0.01%的二氯二氫硅含量用4-20mA信號輸出。用氫氣作為載氣（氫氣純度：99.999%，靈敏度高易定量），分析結果準確度高、重現線性好。隔爆型防爆設計，無需正壓控制，現場維護方便。